Физические основы кремниевой наноэлектроники
Зебрев Г.И.
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
Année:
2011
Editeur::
Бином. ЛЗ
Langue:
russian
Pages:
242
ISBN 10:
5996301814
ISBN 13:
9785996301812
Collection:
Нанотехнология
Fichier:
PDF, 35.73 MB
IPFS:
,
russian, 2011