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Фазы внедрения в технологии полупроводниковых приборов и СБИС
Агеев О.А.
,
Беляев А.Е.
,
Болтовец Н.С.
,
Конакова Р.В.
,
Миленин В.В.
,
Пилипенко В.А
рис
титана
бто
пленки
кремния
поверхности
алюминия
ºс
контактов
о.а
агеев
температуры
н.с.болтовец
а.е.беляев
в.в.миленин
р.в.конакова
в.а.пилипенко
пленок
напряжений
tibx
обработки
структуры
gaas
кремний
формирования
отжига
силицидов
металлизации
термообработки
напряжения
силицида
мкм
области
приводит
структур
подложки
контакта
происходит
слоев
зерен
раздела
зависимости
фоторезиста
металлов
сбис
длительной
компонентов
различных
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фаз
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